箱体结构特征外壳材料采用质量钢板，焊接折弯制作。内胆材料采用质量不锈钢SUS201#板，焊接折弯制作。箱体骨架1.采用角铁加强制作，保持箱体内外各个面的承载强度；2.保留热胀冷缩系数，可防止箱体变形。保温材料采用100K加密型硅酸铝保温棉，具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为100mm。密封材料密封条采用硅胶条制作，可耐温不变形。换气装置箱体上部设有进气口、排气口，口径为75mm”。门手动双开门，两侧安装镀铬加强型合页，可防止门下垂，吴中区重型工业烤箱，操作方便。电控箱电控箱安装在箱体右侧，方便操作。凹槽烘箱底部设置平板，吴中区重型工业烤箱，可同时放置2部小车，吴中区重型工业烤箱，方便小车进出烘箱。 无氧化烤箱QMO-2DSF(整机304）。吴中区重型工业烤箱
HMDS预处理系统的原理：HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表面生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。无尘工业烤箱费用双门精密送风循环烤箱。
三、設計思路：1、設計時嚴格按照國家有關勞動安全、衛生及環保等方面的標準進行，如：涂装作业安全性方面符合GB6514－1995、GB14444－93《涂装作业安全规程喷漆室、烘干室安全技术规定》；涂装作业卫生性方面符合TJ36－79《涂装作业安全规程》；环保方面符合GB16297－1996《大气污染物综合排放标准》、GB30986－93《城市区域环境噪声标准》、GB12348－90《工业企业厂界噪声标准》。2、設備美觀大方，滿足產品使用要求，運行可靠，操作簡便，維護保養方便易行。設計時考慮經濟、實用，採用步進式生產方式，產能保證。3、選用的配套件、材料及電器元件均品質可靠，技術，其中關鍵配套件和材料均選用臺灣品牌、進口產品，確保設備的整體性能和品質。4、控制系統充分考慮系統相互之間的連鎖性，在溫度、系統阻力都採取了保護措施，避免設備事故發生。5、採用風路佈置管道的方式在步進式砂芯烘烤爐內達到均溫恒溫的目地。
干燥箱DTS-450规格书一、箱体结构尺寸1.内尺寸（W*D*H）mm：450*450*450.外尺寸（W*D*H）mm：约810*720*11203.控制箱：位于机台底部，方便操作，维修方便4.门、门扣：单门5.内胆材质：质量不锈钢板6.外箱材质：钢板粉体静电烤漆（米白色）涂装采用酸洗脱脂与皮膜处理与采高黏着力液体喷涂7.保温材质：采用质量高温耐热岩棉（最高耐温700℃）,保温性能佳，节能省电，环保无污染8.炉门保温材质：高温耐热岩棉（最高耐温700℃），配备硅胶门条，有效防止热量流失，保持温度平稳，节能效果佳9.分层：吊杆2支VC均热板加压扩散焊接炉。
HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺显得更为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。升降式垂直热风循环隧道炉。泰州智能工业烤箱服务
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八.选材要求:选材品牌参照招标文件中品牌要求和投标文件中主要外购件清单序号名称类别制造商序号名称类别制造商1变频器台达/三菱18讯响器中国台湾2接触器及热保护开关施耐德19线材无锡南亚电缆3空气开关正泰/德力西20触摸屏威纶/三菱4光电开关OMRON/同等品牌21驱动电机及减速器欧邦/同等品牌5继电器及座OMRON22链条环球/汇利兴6微动开关OMRON23止挡器亚德客/同等品牌7行程开关OMRON24气动组件亚德客/同等品牌8可编程控制器三菱/OMRON25电磁阀亚德客/同等品牌9可编程控制器扩展三菱/OMRON26气缸亚德客/同等品牌10马达开关正泰/德力西27吸盘SMC/同等品牌11断路器正泰/德力西28电源插座飞雕12漏电保护附件OMRON29馈电子国产质量13按钮开关天逸30主线铝型材国产质量电泳处理14转换开关天逸3115急停开关天逸3216指示灯天逸3317直流电源明纬34吴中区重型工业烤箱
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